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什么是曝光机

曝光机是什么? 曝光机即电子束曝光机,是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。 曝光机基本工作原理是什么? 曝光机基本工作原理: 在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。 曝光机的应用范围是什么? 曝光机的应用范围: 半导体生产线、微电子生产、LCD显示、LCD显示、线路板生产、PCB产品。

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