曝光机
曝光机图片
一、什么是曝光机
曝光机即电子束曝光机，是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。
二、曝光机基本工作原理
在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。
三、曝光机的应用范围
半导体生产线、微电子生产、LCD显示、LCD显示、线路板生产、PCB产品。
一、什么是曝光机
曝光机即电子束曝光机，是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。
二、曝光机基本工作原理
在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。
三、曝光机的应用范围
半导体生产线、微电子生产、LCD显示、LCD显示、线路板生产、PCB产品。
